A film-texture driven piezoelectricity of AlN thin films grown at low temperatures by plasma-enhanced atomic layer deposition

Auteurs

T. Nguyen, N. Adjeroud, S. Glinsek, Y. Fleming, J. Guillot, P. Grysan, and J. Polesel-Maris

Référence

APL Materials, vol. 8, no. 7, art. no. 071101, 2020

Lien

doi:10.1063/5.0011331

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