Stationary beam full-field transmission helium ion microscopy using sub-50 keV He+: Projected images and intensity patterns

Auteurs

M. Mousley, S. Eswara, O. De Castro, O. Bouton, N. Klingner, C. T. Koch, G. Hlawacek, and T. Wirtz

Référence

Beilstein Journal of Nanotechnology, vol. 10, pp. 1648-1657, 2019

Lien

doi:10.3762/bjnano.10.160

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